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用作實質(zhì)性程序的分析程序稱為實質(zhì)性分析程序。實質(zhì)性分析程序與細節(jié)測試都可用于收集審計證據(jù)，以識別財務(wù)報表認定層次的重大錯報風(fēng)險。

相對于細節(jié)測試而言，實質(zhì)性分析程序能夠達到的精確度可能受到種種限制，所提供的證據(jù)在很大程度上是間接證據(jù)，證明力相對較弱。數(shù)據(jù)的可靠性越高，預(yù)期的準確性也將越高，分析程序?qū)⒏行?。注冊會計師計劃獲取的保證水平越高，對數(shù)據(jù)可靠性的要求也就越高。注冊會計師應(yīng)當(dāng)將識別出的差異額與可接受的差異額進行比較，以確定差異是否重大，是否需要做進一步調(diào)查。